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Notiziario Marketpress di
Mercoledì 12 Maggio 2004
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SEMICON EUROPA 2004 - DUPONT DOW ELASTOMERS PRESENTA SOLUZIONI DI TENUTA OTTIMALI PER I PROCESSI DI LAVORAZIONE DEI SEMICONDUTTORI BASATE SUI COMPONENTI IN PERFLUOROELASTOMERO KALREZ |
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Milano, 12 Maggio 2004 - All'edizione 2004 della fiera internazionale Semicon Europa, Dupont Dow Elastomers ha mostrato le sue soluzioni di tenuta ad alte prestazioni specifiche per i processi di lavorazione dell'industria dei semiconduttori presentando la sua gamma "dry to wet" di componenti in perfluorelastomero Kalrez. Questi componenti migliorano le prestazioni di tenuta in ambienti molto aggressivi, come quelli plasma Nf3 e plasma con ossigeno, Hdpcvd, Pecvd e a contatto con tutte le sostanze chimiche impiegate nei processi con fluidi. L'azienda ha introdotto, inoltre, tenute per valvole a saracinesca che offrono una produzione di particelle molto bassa e una prestazione superiore a quella dei convenzionali O-ring per applicazioni in tenute destinate a sportelli di valvole a slitta e a saracinesca. Dupont Dow Elastomers ha illustrato le eccellenti qualita' di Kalrez Sahara 8085, compound sviluppato per ottenere una bassa generazione di particelle e limitata perdita di peso nei processi di lavorazione con plasma, come Hdpcvd e Pecvd. Questo tipo di Kalrez completa la gamma che comprende Kalrez Sahara 8575, usato in applicazioni con incisione, carbonizzazione e strippaggio; Kalrez 8002 per una generazione di particelle ultra-bassa in processi con deposizione di plasma e gas; Kalrez 6375 Up, adatto al contatto con tutte le sostanze chimiche usate nei processi di lavorazione con fluidi, strippanti a base di ammine, acidi e basi a temperature fino a 275 °C. Kalrez Sahara 8085 "Kalrez Sahara 8085 e' stato sviluppato per applicazioni con plasma Nf3. Sebbene il Nf3 sia un efficiente strumento di incisione, puo' risultare nocivo per le tenute elastomeriche in determinate condizioni operative," spiega Willie Revolta, Dupopnt Dow Elastomers, marketing manager Europe, Kalrez Semiconductor Industry. "I clienti che hanno impiegato Kalrez Sahara 8085 hanno riscontrato un migliore rendimento dei wafer (fino al 200 % in piu') nelle applicazioni in cui viene utilizzato plasma Nf3 per le operazioni di pulitura. Il compound perfluoroelastomerico ha dato prova di eccellenti proprieta' meccaniche ed e' anche risultato molto adatto ad applicazioni di tenuta statiche e dinamiche, come sportelli delle valvole a slitta o a saracinesca, ingressi gas, tenute per ugelli gas e tenute di alimentazione gas", ha proseguito Revolta.
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